SiC3コーティング
当社ではご要望に沿った形状での真空導入端子フランジを製作致します。規格外の特殊サイズフランジにも対応致しますのでご相談下さい。
短納期！ 長寿命、密着性・均一性に優れたSiCコート部材
高純度・高耐熱性・熱伝導性等の基本性能に優れたCVD-Cubic SiC（立方晶炭化珪素）コーティングカーボン部品を製作致します。ご要望に応じた形状にて都度設計製作承ります。
SiC3コーティング
当社ではご要望に沿った形状での真空導入端子フランジを製作致します。規格外の特殊サイズフランジにも対応致しますのでご相談下さい。
長寿命、密着性・均一性に優れたSiCコート部材
高純度・高耐熱性・熱伝導性等の基本性能に優れたCVD-Cubic SiC（立方晶炭化珪素）コーティングカーボン部品を製作致します。ご要望に応じた形状にて都度設計製作承ります。
特徴
- 短納期！（受注後最短11週間）
- 膜厚均一性 最小誤差±5μm 〜 最大誤差±10μm
- 微細形状にも均一にコート：アスペクト比 ５：１
- Φ3mm x 深さ15mmブラインドホールにもコート可能
- 耐熱性・耐食性・耐摩耗性に優れる
- コーティング厚：最薄20μm 〜 最厚120μｍ
※ ご支給材料へのコーティングは請けておりません。
※ グラファイト以外の母材へのコーティングも可能です。
用途
- エピタキシャル成長用ウエハ
- 単結晶引き上げ装置部材
- MOCVD用サセプター
- ウエハートレー
- ホルダー
- SiCコーティングヒーター
- るつぼ、等
Φ3inchヒーター素線
ウエハートレー
G5-6" outer tray
8"_7 x 2" wafer holder
SEM画像
SiC層表面
SiC層断面
Φ1mm x 深さ5mmブラインドホールへのコーティング
技術データ
Surface roughness
XRD diagram
