BH基板加熱ヒーター
PVD、アニール、高温試料ステージ等
Φ1inch, Φ2inch, Φ4inch
- カンタル(Max800℃)
- C/Cコンポジット(Max1600℃)
- タンタル(Max1200℃)
VH基板加熱ヒーター
PVD、HV/UHV、不活性・反応性ガス
Φ2inch,〜Φ6inch
- SiC3コート(Max1000℃)
- TiC3コート(Max1600℃)
- PG/PBN(Max1200℃)
HT基板加熱ヒーター
超高温用カスタムメイドヒーター
Φ1inch〜Φ6inch
- C/Cコンポジット(Max1700℃)
- SiC3コート(Max1700℃)
- TiC3コート(Max1900℃)
SH基板加熱ヒーター
CVD、HV/UHV、不活性・反応性ガス
Φ1inch〜Φ6inch
- NiCr素線 Inconelプレート(Max850℃)
- タングステン素線 BNプレート/Moカバー(Max1100℃)
HSホットステージ
PVD、HV/UHV、不活性・反応性ガス
Φ2inch〜Φ8inch