基板加熱ヒーター

Substrate Heaters

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PVD(蒸着・スパッタリング)、CVDなどの真空薄膜実験用「超高温基板加熱ヒーター」
均一性・昇温特性・制御性に優れ、取扱いも容易です。

 

  • BHヒーター:大学研究機関向け。カンタル、C/Cコンポジットを採用。ケース・シールドなどを標準設計化し短納期・低価格を実現。
  • VHヒーター:SiC3・TiC3コーティング・PG/PBN採用し応用範囲が広がりました。BH同様に部材を標準化し短納期・低価格化を実現。
  • HTヒーター:超高温領域用カスタムメイドヒーター。さらに過酷な条件でも安定した均一加熱が可能。都度ご要望に応じ設計致します。
  • SHヒーター:気密構造の為、内部に材料、堆積物が浸入せず長期間安定した加熱が行えます。CVD実験に推奨致します。

 

※ 使用条件によっては水冷機構付タイプを推奨する場合もございます。

超高温 真空 ヒーター

基板加熱ヒーター 製作事例

Custom Made EQUIPMENTS
 
超高温, 超高真空にも対応可能 あらゆるカスタマイズご要望に対応