マグネトロンカソード MAGシリーズ
- 高真空対応・メンテナンス性に優れたマグネトロンカソード
- クランプリング採用 ターゲットの交換が容易
- Φ2inch～Φ4inch サイズ
- 磁性材用・チムニーポート・ガスインジェクション・シャッター等オプション豊富
RF, DC, パルスDC 兼用 既設装置への追加増設、改造などにも最適な高性能マグネトロンカソード
開発製造元：Moorfield Nanotechnology Ltd 社（英）
形状・バリエーション
ISO（ISO-K タイプフランジ）
CF（CF タイプフランジ）
250T（250mm ストレートパイプ）
250T-FXH（250mm パイプ, 傾斜ヘッド）
BP（ベースポートマウント）
- N 型同軸コネクター式
- パイプ式は全てΦ3/4” パイプ
- パイプ式はΦ1” ベースプレートカプラー付属
- 傾斜ヘッド：±45°傾斜
- 水冷式：Φ6mm チューブ式
オプション
- シャッター
- ガスインジェクション
- チムニーポート
- 磁性材料用高強度マグネット
- クロスコンタミシールド
参考図（Φ2" Flexihead）
主仕様
- RF, DC, パルスDC 兼用
- 水冷式：4ℓ/min, 0.35Mpa
- ターゲット厚さ 1/16”～1/4”
- ケース材質 SUS304
- ターゲットクランプ材質 Al, or SUS304
- ベローズ（Flexi-head タイプ） SUS316
- 絶縁材 PEEK/PTFE
- シール材 Viton
- 高強度マグネットパック NiFe; エポキシ封入
Model. No
MAG ◯ ー ◯◯◯
| サイズ： | 2” , 3” , 4” |
|---|---|
| 形 状： | ・BP（ベースポートマウント） ・250T-FXH（250mm パイプ、傾斜ヘッド式） ・250T（250mm ストレートパイプマウント） ・ISO（ISO-K タイプフランジ接続） ・CF（CF フランジ接続） |
