BH基板加熱ヒーター
2inch-グラファイトヒーター Max1300℃
2inch NiCr素線ヒーター Max850℃
3inch NiCr 水冷ハウジング Max850℃
1inch CCCヒーター Max1600℃ 水冷ハウジング
8inch NiCr Heater Max800℃
1"_1700℃ヒーター
2"_1800℃ヒーター
ハロゲンランプ加熱ステージ_RFバイアス/回転
BHS-15/22mm-CCC-1700C
角型C/Cコンポジットヒーター
PBN/PG/PBNヒーターステージ
PBN/PG/PBNヒーターステージ
1000℃_RFバイアス 基板回転ステージ
BHS-3"-SiC-1200C for CVD
BHS-3"-Ta-1400C
PBB/PG/PBNヒーターステージ 角型
2" グラファイトヒーター トッププレート無し
2"_SiCコーティングヒーター 1000℃
BHS-4"_RF150W stage bias plasma forming
SH基板加熱ヒーター
SH-IN-4inch Max850℃
Z height adjustable
SH-IN-4.1" Max850℃
基板回転
SH-IN-4.1" Max850℃
SH-IN-1inch-800C
Custom Heater-1.6inch Max850℃
SH-IN-4.1" Max850℃
基板回転
SH-IN-2.2"_Sample clip
SH-IN-1.6"/2.2"
SH-IN-4.1" Max850℃
基板回転
SH-IN-4"_PVDチャンバー
SH-IN-2"_横取出し
ヒーターエレメント
グラファイトエレメント
C/Cコンポジット
グラファイトエレメント
タングステンエレメント
タングステンエレメント
1inch 円筒状ヒーター Max1000℃
5inch 円筒状ヒーター Max1600℃
ホットステージ
4inch 1200C Hot Stage
4inch 1200C Hot Stage-2
2inch 800C Hot Stage
Hot Stage：ウエハーホルダー
2inch Hot Stage RF bias
ヒーター温度制御ユニット, 他
Heater Controller
19inchラックマウント式コントローラ
ハロゲンランプヒーター
真空導入端子フランジ
