nanoCVD-8G

1バッチわずか30分, 簡単に高品質なグラフェン合成が可能

CVD法（Chemical Vapor Deposition）

CVD法は、既に多くの分野で検証され安定した技術であり、更に将来的にグラフェン生産を視野に入れた開発の場合の最も現実的な手法であるCVD法（コールドウオール式）を採用しております。製造元Moorfield社は、英国の大学研究機関の協力で本グラフェン合成装置の開発・検証を繰り返してまいりました。ラマン分光・SEM・AFM等の解析データから良質なグラフェンサンプルが得られることを実証しております。
 

コールドウオール式CVD

反応が早く再現性に優れたコールドウオール式/高温試料加熱ステージを採用。装置の小型化，処理時間を短縮、操作性に優れ、30種の合成レシピを作成・保存が可能。標準システム構成に加え、ご要望により機器構成をカスタマイズすることもできます。nanoCVDシステムは、小型ながら基礎研究開発の現場に寄与する無限の可能性を秘めた実験装置です。

nanoCVD-8Gを用いて合成されたグラフェン試料をラマン分光法、高磁場輸送測定、および電子顕微鏡・光学顕微鏡を用いて特性評価実施の結果、得られたグラフェンは単層であり、固有ドーピングが低く均一性を備えた高品質グラフェンであることが示された。
トランジスタ素子では、1.4 Kで3300 cm²/(V・s)、室温で2773 cm²/(V・s)という高い電荷キャリア移動度を確認。高磁場下でのホール抵抗素子実験では、半整数量子ホール効果（単層グラフェンに特有の現象）が確認されました。
これらの観測結果により、nanoCVD-8Gを用いて製造可能なこの材料の卓越した品質を裏付ける強力な証拠となっております。
（Reference1を参照）

• nanoCVD-8Gを用いて製造されたグラフェンは、以下のような幅広い用途が見出されています：
  • オプトエレクトロニクス：フレキシブルかつ透明なタッチセンサーの電極として、また太陽光発電デバイスへの応用。
  • バイオセンサー：グラフェン表面の機能化により、電気輸送法を用いた特定のタンパク質の検出が可能になりました。

•CVD成長メカニズム：急速加熱〜十分な冷却能力とコールドウオール方式を備えたnanoCVD-8Gおよびそのグラフェンにより、CVD合成に関する応用開発が可能となります。