基板加熱ヒーター BH基板加熱ヒーター VH基板加熱ヒーター HT基板加熱ヒーター SH基板加熱ヒーター HSホットステージ QLDランプ加熱ヒーター 実験炉 Mini-BENCH 超高温小型卓上実験炉 Mini-BENCH-prismセミオート式超高温実験炉 TE series超高温卓上型マルチ雰囲気実験炉 MiniLab-CF 超高温マルチ雰囲気実験炉 MiniLab-WCF ウエハー焼成炉 ANNEAL ウエハーアニール装置 TCF-C500 超高温小型実験炉 TVF-110 小型縦型 管状炉 薄膜実験装置 MiniLab seriesフレキシブル薄膜実験装置 ML-GB グローブボックス薄膜実験装置 nanoCVD-WGPウエハースケールグラフェン合成装置 Nanofurnace 熱CVD装置 薄膜実験装置コンパクトシリーズ nanoCVDグラフェン/CNT合成装置 nanoPVD-S10Aマグネトロンスパッタリング装置 nanoPVD-T15A有機膜・金属膜蒸着装置 nanoETCH Model.ETCH5A ソフトエッチング装置 nanoEM 高真空EMコーティング装置 真空部品・コンポーネンツ マグネトロンカソード MAGシリーズ LTE 有機蒸着源 真空導入端子 スパッタリングターゲット SiC3コーティング カーボン部品 赤外線放射温度センサー PyroCouple 赤外線温度センサー PyroMini 赤外線温度センサー PyroUSB USB赤外線温度センサー PyroMini USB 赤外線温度センサ ExTemp 本質安全防爆型赤外線センサー PyroNFC赤外線温度センサー カスタムメイド装置 製作事例 Custom Made deposition equipments ご要望により製作した特注装置をご紹介 制作実例を見る