有機蒸着源 LTE
有機薄膜材料用蒸着源
低温（80〜600℃）での制御性・応答性に優れた蒸着ソース
安定した蒸着レート
材料の充填・るつぼの交換が容易
- LTE1（1cc）
- LTE5（5cc）
主仕様
- るつぼ材質：石英（標準）、アルミナ
- るつぼ容積：1cc（LTE1）、5cc（LTE5）
- ケース：SUS304
- トッププレート：アルミナ
- 温度センサー：Kタイプ熱電対
- 固定：M6固定金具（又はCF, ISOフランジ）
LTEコントローラー
- LTEC-1SA：1ch用
- LTEC-2CDA：2ch用
- LTEC-4SA：4ch用
参考図（Φ2" Flexihead）
