LTE (Low temperature evaporation)

有機材料蒸着源 LTE

真空蒸着 有機蒸着

有機蒸着源 LTE

 
有機薄膜材料用蒸着源
低温(80〜600℃)での制御性・応答性に優れた蒸着ソース
安定した蒸着レート
材料の充填・るつぼの交換が容易
 

  • LTE1(1cc)
  • LTE5(5cc)

 

主仕様

 

  • るつぼ材質:石英(標準)、アルミナ
  • るつぼ容積:1cc(LTE1)、5cc(LTE5)
  • ケース:SUS304
  • トッププレート:アルミナ
  • 温度センサー:Kタイプ熱電対
  • 固定:M6固定金具(又はCF, ISOフランジ)

LTEコントローラー

 
真空蒸着 有機蒸着
  • LTEC-1SA:1ch用
  • LTEC-2CDA:2ch用
  • LTEC-4SA:4ch用

 

参考図(Φ2" Flexihead)

 
 
真空蒸着 有機蒸着