Mini-BENCH超高温小型卓上実験炉 大学・研究機関向け超高温実験炉。カーボン・メタル炉を、最小構成から、ご予算・目的に応じて最適なシステムをご提案します。 Min-BENCH-prismセミオート式 超高温実験炉 超高温Mini-BENCH実験炉のPLCセミオートシーケンスモデル。タッチパネル操作で真空/パージ〜ベント運転を自動制御 TE series超高温卓上型マルチ雰囲気実験炉 コンパクトな卓上サイズチャンバーに、SiC・TiCコートヒーターを採用。様々な用途に活用いただけるマルチ雰囲気実験炉 MiniLab-CF超高温マルチ雰囲気実験炉 熱電対・放射温度計の自動切替で最高2900℃まで昇温可能。SiC・TiCコーティングヒーターを採用し、様々な用途に活用いただけるマルチ雰囲気実験炉です。 MiniLab-WCF超高温ウエハーアニール炉 Φ4〜Φ8inchウエハーアニール炉。SiC・TiCコーティング、C/Cコンポジットヒーター採用。研究開発から小規模生産まで幅広く活用できるハイパフォーマンスアニール炉です。 ANNEALウエハーアニール装置 Φ4〜Φ6inch基板用。MFC x 3系統、APC自動圧力制御により安定した雰囲気で高温熱処理が可能なウエハーアニール装置です。3種類のヒーター材質オプションを用意。 TCF-C500超高温小型実験炉 小片試料を最高2900℃まで加熱実験ができるR&D用超高温小型実験炉。新素材・新材料開発、半導体・電子部品・燃料電池・大陽電池などさまざまなアプリケーションに対応。 TVF-110小型縦型 管状炉 小片試料〜3inchまでの小基板用 サセプター手動昇降式、縦型管状炉・拡散炉・熱CVDとして応用可能。大学・企業開発部門での基礎実験に最適なローコスト版縦型炉。