MiniLab thin film deposition system

MiniLab-026

MiniLab-026抵抗加熱蒸着 x 2 MiniLab-026抵抗加熱蒸着 x 2, 有機蒸着 x 1 MiniLab-026スパッタ（2"） x 3 MiniLab-026抵抗加熱蒸着 x 2, 有機蒸着 x 1, スパッタ（2"） x 1

MiniLab-060

MiniLab-060スパッタ（2"） x 2 MiniLab-060スパッタ（2"） x 4 MiniLab-060スパッタ（2"） x 2, 抵抗加熱蒸着 x 1, 有機蒸着 x 1

MiniLab-080

MiniLab-080抵抗加熱蒸着 x 2 MiniLab-080抵抗加熱蒸着 x 2, 有機蒸着 x 4 MiniLab-080電子ビーム蒸着 MiniLab-080電子ビーム蒸着, 抵抗加熱蒸着 x 2

MiniLab-090

MiniLab-090抵抗加熱蒸着 x 2 MiniLab-090抵抗加熱蒸着 x 2, 有機蒸着 x 2 MiniLab-090抵抗加熱蒸着 x 2, 有機蒸着 x 4 MiniLab-090電子ビーム蒸着 MiniLab-090電子ビーム蒸着, 抵抗加熱蒸着 x 2

MiniLab-125

MiniLab-125抵抗加熱蒸着 x 4 MiniLab-125電子ビーム蒸着, 抵抗加熱蒸着 x 2 MiniLab-125電子ビーム蒸着, スパッタ（3"） x 4