MiniLab-GB グローブボックス薄膜実験装置
蒸着・スパッタ・アニールなどの作業をグローブボックス内でシームレスに行う事ができます。
MiniLab-026、MiniLab-090のチャンバー部をグローブボックス作業ベンチに連結、制御ラック部をベンチ下に収納。グローブボックスと連結するために設計された薄膜実験装置です。スパッタ・真空蒸着などの成膜装置と、グローブボックス設置エリアを一体化した省スペース装置です。
OLED（有機EL）, OPV（有機薄膜太陽電池）, OTFT（有機薄膜太陽電池）, 又, グラフェン, TMD（遷移金属ダイカルコゲナイド）などの2D材料における成膜プロセスでは、酸素・水分から隔離された不活性ガス雰囲気で試料を取扱う必要があります。
MiniLab-026/00-GBでは、PVDプロセスチャンバーをGB内に収納することにより有機膜実験の「酸素・水分フリー」環境をコンパクト・省スペース環境で実現。
特徴
- 省スペース。グローブボックス本体寸法内に成膜装置が収まります。
- 成膜後の試料を大気に露出せず、ワークベンチ管理雰囲気内で取り扱うことができます。
- PVD成膜、スピンコート塗布・ホットプレートベーキングなど一連の作業を外気に晒すことなく、GB内でシームレスに行うことができます。
- 操作性を考慮したチャンバー開閉方式、グローブのままストレス無くワークベンチ内のチャンバー開閉、ソースへのアクセスが可能：クラムシェル式(026）、スライド開閉式(090）
対象機種
- MiniLab-026：26ℓ容積小型チャンバー
金属/有機/EB蒸着、スパッタ、RF/DCエッチング、アニール - MiniLab-090：90ℓ容積ボックス型チャンバー
金属/有機/EB蒸着、スパッタ、RF/DCエッチング、アニール
カタログダウンロード【 PDF 2.2MB 】
MiniLab-090-GB
全体図（正面）
MiniLab-090-GB
全体図（背面）
柔軟なソース配置構成
予備ポートを豊富に備えていますので、成膜モジュールを柔軟に構成することができます。
MiniLab-026
RFエッチステージ + アニールステージ
MiniLab-026
2"スパッタカソード + 金属蒸着源
MiniLab-090
金属蒸着源 x 3 + スパッタ x 1
スライド式フロントドア
MiniLab-090
金属蒸着源 x 3 + スパッタ x 1
背面メンテナンス用ドア
MiniLab-026-GB
チャンバー部
MiniLab-026-GB
全体図