マグネトロンカソード MAGシリーズ RF, DC, パルスDC 兼用 既設装置への追加増設、改造などにも最適な高性能マグネトロンカソード。 LTE 有機蒸着源 低温(80〜600℃)での制御性・応答性に優れた蒸着ソース。安定した蒸着レート、材料の充填・るつぼの交換が容易です。 OLED 有機・金属蒸着セル Max1500℃ 有機材料・金属加熱蒸発源 高温用簡易エフュージョンセルとしての応用も可能 1cc(最大充填量1.5cc) 10cc(最大充填量15cc) るつぼ:アルミナ、石英、PBN、カーボン 水冷機構オプション シャッター(圧空、又はモーター駆動) カタログダウンロード【PDF 1.7MB】 真空導入端子 ご要望に沿った形状での真空導入端子フランジを製作致します。規格外の特殊サイズフランジにも対応致しますのでご相談下さい。