BH基板加熱ヒーター｜Thermocera Japan Ltd.

BHヒーター Max1800℃

高温ヒーター PVD、CVD 真空薄膜用基板加熱ステージ

高真空対応多彩なヒーター材質オプション。
スパッタ、蒸着、EB、CVD、高温真空アニール、高温解析用基板ステージ、など真空装置用に幅広く活用いただけます。
RF/DCバイアス仕様も可能。様々なご要望にカスタムメイド対応致します。

C/Cコンポジット（Max1800℃）
SiCコーティング（Max1500℃）
PGコーティング（Max1800℃）
カンタル（Max900℃）
タングステン（Max1600℃）
タンタル（Max1400℃）

Φ1〜6inch 真空薄膜実験用基板加熱ヒーター。多彩なヒーター素線オプション（Kanthal, C/C Composite, W, Ta, 他）を用意。各種薄膜実験用基板加熱ステージとして応用いただけます。幅広い研究開発目的にカスタムメイド対応致します。
当社までご希望条件をお聞かせください。

*使用条件によっては水冷機構付タイプを推奨致します。

BHS-KA-P-R0（Φ1〜4inch, Kanthai素線, Max900℃）

左より, Φ4inch, Φ2inch, Φ1inch ヒーター

発熱体・最高温度（プレート温度）・使用環境

発熱体材質	最高温度（*制御温度）	使用雰囲気
C/Cコンポジット	1800℃*	真空中、不活性ガス
SiCコート高純度グラファイト	1500℃	真空中、不活性ガス、O2、大気
PGコート C/Cコンポジット	1800℃*	真空中、不活性ガス
カンタル	900℃	真空中、不活性ガス、O2、大気
タングステン	1600℃	真空中、不活性ガス、還元性ガス
タンタル	1400℃	真空中、不活性ガス、還元性ガス
NiCr	900℃	真空中、不活性ガス、O2、大気

*冷却要

Φ1inch ヒーター外観（有効加熱範囲 Φ26.5mm）

Part No	発熱体	プレート	ケース・シールド	最高温度	熱電対
BHS-1CC-P-R0	C/Cコンポジット	AlN	SUS304, 又はMo	1800℃	C
BHS-1KA-P-R0	カンタル	AlN	SUS304, 又はMo	900℃	K
BHS-1W-P-R0	タングステン	AlN	SUS304, 又はMo	1600℃	C
BHS-1Ta-P-R0	タンタル	AlN	SUS304, 又はMo	1400℃	C
BHS-1NC-P-R0	NiCr	AlN	SUS304, 又はMo	900℃	K

Φ2inch ヒーター外観（有効加熱範囲 Φ54.0mm）

Part No	発熱体	プレート	ケース・シールド	最高温度	熱電対
BHS-2CC-P-R0	C/Cコンポジット	AlN	SUS304, 又はMo	1800℃	C
BHS-2KA-P-R0	カンタル	AlN	SUS304, 又はMo	900℃	K
BHS-2W-P-R0	タングステン	AlN	SUS304, 又はMo	1600℃	C
BHS-2Ta-P-R0	タンタル	AlN	SUS304, 又はMo	1400℃	C
BHS-2NC-P-R0	NiCr	AlN	SUS304, 又はMo	900℃	K

Φ4inch ヒーター外観（有効加熱範囲 Φ104.0mm）

Part No	発熱体	プレート	ケース・シールド	最高温度	熱電対
BHS-4CC-P-R0	C/Cコンポジット	AlN	SUS304, 又はMo	1800℃	C
BHS-4KA-P-R0	カンタル	AlN	SUS304, 又はMo	900℃	K
BHS-4W-P-R0	タングステン	AlN	SUS304, 又はMo	1600℃	C
BHS-4Ta-P-R0	タンタル	AlN	SUS304, 又はMo	1400℃	C
BHS-4NC-P-R0	NiCr	AlN	SUS304, 又はMo	900℃	K

カスタム品製作事例

基板クリップ

BHS-2"-Ka-1000C

電極ブラケット付

BHS-1"-Ka-800C

フランジ一体型

BHS-2"-Ka-500C

基板バイアス（DC500V）

BHS-1"-CCC-1000C

オプション：

・RF（150W）/DC（1KW）バイアス印加
・基板保持クリップ
・取付ブラケット
・基板ホルダー
・トッププレート材質（PBN, 石英, カーボン, Inconel, 他）
・ヒーター素線（Nb, Mo, Pt/Re, WRe）
・過昇温用追加熱電対
*その他ご要望に応じて特注仕様対応致します。ご相談下さい。
*基板回転・昇降（ステージ部、ヒーターヘッド部）, 基板バイアスなどは「HS ホットステージ」参照下さい。

温度制御ユニット

PIDプログラム温度調節計
DC電源（又は外付トランス保護ケース付）
電流計・電圧計
インターロック：冷却水断水、チャンバー過昇温、チャンバー開閉、ヒーター回路トリップSW
電源ケーブル2m付属
制御温度過昇温警報：異常昇温時にヒーター回路停止（温調計での設定）
温度制御ユニットボックス寸法：275(W) x 250(D) x 160(H)mm

※ヒーター定格、制御回路構成によっては寸法が異なります。

BH Heater