Cylindrical Heater Unit

概要

 
ご要望の仕様にて都度製作致します。
さまざまな用途に応用できる高真空中での円筒状加熱ユニットです。
円筒状加熱範囲内に、蒸発材料を入れた坩堝の加熱（MBEセル）、金属・セラミック・ワイヤー状サンプルの加熱、など目的に応じてカスタムメイド致します。
◎ 使用可能環境：真空中, 不活性ガス中 etc..
◎ 発熱体：Graphite, CCC、SiCコーティング、タングステン、タンタル、など。
◎ 製作範囲：ヒーター部（Φ150 x 100mm程度まで）導入フランジ
 
◉ 温度制御ユニットも製作致します。

用途

• 真空装置プロセスチャンバー内の試料加熱
• 放電プラズマ生成ユニット熱電子銃（Lab6）
• ガス供給系統配管急速加熱（液体急速気化）、等

製作事例

温度制御ユニット