HTE 高真空るつぼ加熱ヒーター Max1500℃
真空用 高温ヒーター。有機蒸着源800℃、高温金属蒸着源1500℃、MBEセルとしても利用できるバーサタイルなヒーターユニット
HTEの最高使用温度は1500℃。蒸発温度の高い金属材料も使用することができますので、真空用高温ヒーター・高温蒸発セルとしても応用できるバーサタイルなヒーターユニットです。800℃以上の高温でお使いの場合は、内部にシールド構造を備え、断熱・熱遮蔽を考慮した設計となっております。
有機EL等の低温加熱有機蒸着にはOLED（最高使用温度800℃）をご指定ください。有機蒸着ソースとしてお使いの場合は着脱式のシャッターを追加設置可能。シャッターはスイング式ではなく、フリップ式を採用。チャンバー内に複数の蒸着ソースを設置しても他のコンポーネントに干渉することがありません。上部キャップを外すだけで坩堝を取り出すことができますので、材料の充填・補充作業に手間がかかりません。HTE/OLED本体部は、1cc坩堝用（最大充填量1.5cc）、10cc坩堝用（最大充填量15cc）があり、固定ベースをチャンバーから外さず本体ボディをベースに差し替えるだけで交換することが可能。熱電対は蒸発温度により2種類、Kタイプ、Cタイプのいずれかをご指定いただけます。
るつぼ材質は、蒸発レートの低下を防ぐ為、材料・目的に合わせてアルミナ（標準）、石英、PBN、カーボンなどの多彩な材質オプションから選ぶことができます。独自設計の熱電対により応答速度が速く、又、熱ロスがない為オーバーシュートせず正確で精度の高い制御が可能となりました。
標準仕様
- 低温有機材料蒸着（〜800℃）用
- ヒーター：タングステンフィラメント
- るつぼ：高純度アルミナ 1cc（最大充填量 1.5cc）
- Kタイプ熱電対
- 使用環境：真空中、不活性ガス中
- ヒートシールド構造（800℃以上）
カタログダウンロード【 PDF 1.7MB 】
広範囲な温度制御範囲
有機材料：〜800℃
金属材料：〜1500℃
温度安定性：±0.2℃
高温真空ヒータとして応用可能
真空中、高温で蒸発する材料の加熱ヒーター、
るつぼ内材料の加熱、高融点材料の溶融実験、など様々な実験・開発に応用。
容易なメンテナンス
トップキャップを外すだけでるつぼを取り出し、材料の交換・補充作業が可能。
固定ベースをチャンバーから外さずに、ボディを取り外すことができます。
1cc用から10cc用ボディに容易に交換可能です。
又、メンテナンスの度に電極・フィードスルーを外す必要がありません。
熱電対
Kタイプ（標準）、又はCタイプ
熱電対接続は、耐熱コネクタ式、プラグを差し込むだけです。
るつぼ材質・容積
1cc（最大1.5cc容量）、10cc（最大15cc容量）
標準材質：高純度アルミナ
オプション：PBN、石英、グラファイト
シャッター
シャッターはフラップ式を採用。チャンバー内に複数のOLEDソースを設置しても他のコンポーネントに干渉することがありません。シャッターの取り付けは、OLED本体と固定ベースの間に差し込み設置します。
空圧駆動 シャッターフィードスルー
KF25フランジ、又はΦ1"O-ringシールカプラー
Φ4mmクイック継手
モーター駆動 シャッターフィードスルー
KF25フランジ、又はΦ1"O-ringシールカプラー
リニアDCサーボモーター、又はパルス駆動ステッピングモーター制御
オプション
- るつぼ容積：10cc（最大充填量15cc）
- るつぼ材質：PBN、石英、グラファイト
- 熱電対：Cタイプ
- フィラメント材質：NiCr、又はカンタル（O2環境用 *800℃まで）
- シャッター
- シャッターアクチュエータ（空圧式、モーター駆動式）
- 水冷ジャケット
- ヒートシールド(800℃以上）
- コントローラー（据置型 温度/シャッターコントロールボックス）
外形図
型番構成
