MiniLab thin film deposition system

MiniLab series flexible deposition system

装置構成・アプリケーション事例

グローブボックス成膜装置

蒸着/スパッタ・デュアルチャンバーシステム
Φ8inch基板対応

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グローブボックス成膜装置

MiniLab-S060A
4元マルチスパッタ装置
Φ4inch基板対応

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グローブボックス成膜装置

MiniLab-S125A
多元マルチスパッタ装置
Φ8inch基板対応

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MiniLab-026-GB
MiniLab-090-GB
グローブボックス組込式薄膜実験装置

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グローブボックス成膜装置

SMX 蒸着マスク/基板オートチェンジャー
Φ4inch基板対応

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グローブボックス成膜装置

プラズマエッチング
・RIEプラズマエッチング
・ソフトエッチング

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グローブボックス成膜装置

nanoETCH（ナノエッチ）
Model. ETCH5A
ソフトエッチング装置

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グローブボックス成膜装置

nanoPVD-ST15A
スパッタ・蒸着源複合型
薄膜実験装置

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