超高温マルチ雰囲気実験炉 Max2900℃
様々な焼成条件・使用環境に対応する超高温マルチ雰囲気実験炉。
| C/Cコンポジットヒーター | Max2900℃ |
|---|---|
| SiC3コーティングヒーター | Max1600℃ |
| TiC3コーティングヒーター | Max2900℃ |
C/Cコンポジット・SiC3コーティング・TiC3コーティングヒーター採用
最高温度2900℃まで焼成実験が可能なR&D用超高温マルチ雰囲気実験炉
新素材・材料開発、半導体・電子部品など先端技術開発部門での様々な加熱焼成実験に活用いただけます。
特徴
3種類の炉内ヒーター/断熱材材質によりカーボン炉の応用範囲が広がります。
- C/Cコンポジットヒーター
- SiC3（炭化珪素）コーティングヒーター
- TiC3（チタン・カーバイド）コーティングヒーター
最高使用温度 2900℃（C熱電対→2色放射温度計自動切替）
- C/Cコンポジット、TiC3コーティングヒーター：2900℃
- SiC3コーティングヒーター：1600℃
PLCセミオート運転（真空/パージ → ベント）
- タッチパネルHMIより操作
炉内加熱範囲
- Φ50 x 深さ100mm（*標準）
- その他サイズも製作致します。当社までご相談下さい。
豊富なオプション
- 炉内圧力自動調整（APCコントロール）
- 炉内試料温度測定用追加熱電対
- 追加フロントビューポート + 炉内測定用放射温度計
- るつぼ回転
- 通信機能（温調計機能使用）又はSECS/GEM通信
概略仕様
| C/Cコンポジット素線 | SiC3コーティンググラファイト素線 | TiC3コーティンググラファイト素線 | |
|---|---|---|---|
| 最高使用温度 | Max2900℃ | Max1600℃ | Max2900℃ |
| 断熱材 | グラファイト, アルミナ, タングステン, モリブデン, ジルコニア等（*炉内構造により都度異なります） | ||
| 真空チャンバー | SUS304 水冷ジャケット構造、トップローディング、リニアドライブ駆動開閉式 | ||
| 使用雰囲気 | 真空中、又は不活性ガス（Ar, N2） | 真空中、又は不活性ガス（Ar, N2）、還元性ガス（H2 等） | |
| 有効加熱範囲 | Φ50 x 深さ50mm(H)（円筒ヒーター 内寸）*その他サイズも製作可能です。 | ||
| 到達真空度 | 1x10-2 Pascal（* 但し空炉の場合） | ||
| 真空ポンプ | ドライスクロールポンプ（オプション：ターボ分子ポンプ） | ||
| 熱電対 | C タイプ熱電対 + 2色放射温度計（SiC3ヒーターは熱電対のみ） | ||
| インターロック | チャンバー表面温度、ヒーター過昇温、冷却水低下、チャンバー開閉、真空度 | ||
| 用力・冷却水 | ヒーター定格 8KVA max（* 加熱範囲寸法により異なります）, 冷却水 Max 8ℓ/min 0.4Mpa | ||
電気炉制御ユニット
プログラム温度調節計、タッチパネルHMI、デジタル真空ゲージ、ヒーターブレーカーSWなどの表示部を前面操作パネルにコンパクトに収納。
●温度調節計：Eurotherm 'nanodaq'、又はRKC PF900
●デジタル真空計：MKS社 マイクロピラニゲージ
●タッチパネル：Siemens SIMATEC HMI（又は三菱）
| タッチパネル | 真空引き ベント チャンバーOpen/Close Gas In/Out |
|---|---|
| ヒーターSW | ヒーター制御回路ON/OFF |
| 真空計 | WRGデジタル真空計 炉内圧力表示 単位切替 電気炉インターロック設定値 |
| 温度調節計 | ヒーター温度制御 |
| プロセスガス流量調整 | Edwards 'Speedivalve' ベローズバルブ手動調整 |
特注仕様・オプション
- 炉内圧力自動調整（APCコントロール）
- 炉内試料温度測定用 追加熱電対
- フロントビューポート + 炉内測定用放射温度計
- るつぼ回転
- 観察用ビューポート
- 通信機能（温調計通信機能を使用）又はSECS/GEM通信
MiniLab-CF 円筒ヒーター
円筒 + フラットヒーター
2ゾーン式
トップローディングチャンバー
DC電源