VH基板加熱ヒーター
2inch-グラファイトヒーター Max1300℃
2inch NiCr素線ヒーター Max850℃
3inch NiCr 水冷ハウジング Max850℃
1inch CCCヒーター Max1600℃ 水冷ハウジング
8inch NiCr Heater Max800℃
1"_1700℃ヒーター
2"_1800℃ヒーター
4" Halogen lamp 800℃
4" Halogen lamp 800℃
4" Halogen lamp 800℃
ハロゲンランプ加熱ステージ_RFバイアス/回転
角型グラファイトヒーター_1x1.7m
角型C/Cコンポジットヒーター
PBN/PG/PBNヒーターステージ
PBN/PG/PBNヒーターステージ
1000℃_RFバイアス 基板回転ステージ
8" グラファイトヒーター
8" オールグラファイトヒーター
8" オールグラファイトヒーター
PBB/PG/PBNヒーターステージ 角型
2"タングステンヒーターエレメント
2"タングステンヒーターエレメン
2" グラファイトヒーター トッププレート無し
2"_SiCコーティングヒーター 1000℃
SH基板加熱ヒーター
Custom Heater-4inch Max850℃
2.1inch Inconel 基板回転 Max850℃
4.1inch Inconel Heater Max850℃
Custom Heater-1.6inch Max850℃
2.1inch Inconel 基板回転-2 Max850℃
ヒーターエレメント
CCC element
Graphite element
1inch 円筒状ヒーター Max1000℃
5inch 円筒状ヒーター Max1600℃
ホットステージ
4inch 1200C Hot Stage
4inch 1200C Hot Stage-2
2inch 800C Hot Stage
Hot Stage：ウエハーホルダー
2inch Hot Stage RF bias
ヒーター温度制御ユニット, 他
Heater Controller
19inchラックマウント式コントローラ
ハロゲンランプヒーター
