超高温卓上型マルチ雰囲気実験炉【サーミック・エッジ】Max2000℃
窒素、酸素、ヘリウム、アルゴン、水素など、様々な雰囲気に対応する卓上型超高温マルチ雰囲気実験炉です。
| C/Cコンポジットヒーター | Max2000℃ |
|---|---|
| SiC3コーティングヒーター | Max1600℃ |
| TiC3コーティングヒーター | Max2100℃ |
TEシリーズ 超高温卓上型マルチ雰囲気実験炉 "サーミック・エッジ"
真空引き・パージ〜ベントまでの電気炉操作はPLCセミオート式。バルブ手動開閉などの煩雑な操作がなくタッチパネルで一元管理できます。
卓上コンパクトサイズ, 研究室の限られたスペースを有効活用いただけます。
特徴
3種類の炉内ヒーター/断熱材材質によりカーボン炉の応用範囲が広がります。
- C/Cコンポジットヒーター
- SiC3（炭化珪素）コーティングヒーター
- TiC3（チタン・カーバイド）コーティングヒーター
コンパクトなボディに詰め込まれた多彩な機能
- 省スペース： 889(W) x 503(D) x 629(H)mm
- 円筒ヒータ（坩堝用）・面状ヒータ（ウエハー焼成用）
- インターロック（冷却水・チャンバー表面温度/ヒーター過昇温・真空度・チャンバー開閉）
- PLCセミオート運転：（真空引き/パージ x 3 cycle 〜 ベント）
- 観察用ビューポート（オプション）
概略仕様
| C/Cコンポジット素線 | SiC3コーティンググラファイト素線 | TiC3コーティンググラファイト素線 | |
|---|---|---|---|
| 最高使用温度 | Max2000℃ | Max1600℃ | Max2100℃ |
| 断熱材 | グラファイト, アルミナ, タングステン, モリブデン, ジルコニア等（*炉内構造により都度異なります） | ||
| 真空チャンバー | SUS304 水冷ジャケット構造、トップローディング、リニアドライブ駆動開閉式 | ||
| 使用雰囲気 | 真空中、又は不活性ガス（Ar, N2） | 真空中、又は不活性ガス（Ar, N2）、還元性ガス（H2 等） | |
| 有効加熱範囲 | Φ1”～Φ3”（ウエハー枚葉焼成用面状ヒーター）、又は、〜Φ70 x 深さMax50(H)mm（円筒ヒーター） | ||
| 到達真空度 | 1x10-2 Pascal（* 但し空炉の場合） | ||
| 真空ポンプ | ドライスクロールポンプ（オプション：ターボ分子ポンプ） | ||
| 熱電対 | C タイプ熱電対付属 | ||
| インターロック | チャンバー表面温度、ヒーター過昇温、冷却水低下、チャンバー開閉、真空度 | ||
| 用力・冷却水 | ヒーター定格 3KVA max（* 加熱範囲寸法により異なります）, 冷却水 3ℓ/min 0.4Mpa | ||
電気炉制御ユニット
プログラム温度調節計、タッチパネルHMI、デジタル真空ゲージ、ヒーターブレーカーSWなどの表示部を前面操作パネルにコンパクトに収納。
●温度調節計：Eurotherm 'nanodaq'、又はRKC PF900
●デジタル真空計：MKS社 マイクロピラニゲージ
●タッチパネル：Siemens SIMATEC HMI（又は三菱）
| タッチパネル | 真空引き ベント チャンバーOpen/Close Gas In/Out |
|---|---|
| ヒーターSW | ヒーター制御回路ON/OFF |
| 真空計 | WRGデジタル真空計 炉内圧力表示 単位切替 電気炉インターロック設定値 |
| 温度調節計 | ヒーター温度制御 |
| プロセスガス流量調整 | Edwards 'Speedivalve' ベローズバルブ手動調整 |
特注仕様・オプション
- フロントビューポート
- 追加ガス導入ポート
- MFC等のガス制御装置
- APC自動圧力制御
- 観察用ビューポート
- 試料測定用 熱電対
- その他、特注仕様製作致します。当社までご相談下さい。
トップローディングチャンバー
チャンバー内部
装置正面画像
チャンバー