MiniLab thin film deposition system

TE4（4電極式）

水冷電極式抵抗加熱蒸着源。蒸着ソース・シャッター・水晶膜厚モニター等を設置したベースフランジごと着脱・メンテナンスができるMoorfield社考案の"System-on-flange"に対応。

• TE1：1電極式 最大電流400A
• TE2：2電極式 最大電流100A 直列配置・放射位置配置
• TE3：3電極式 最大電流100A 直列配置・放射位置配置
• TE4：4電極式 最大電流200A 直列配置・放射位置配置

TE1-Box（ボックスシールド式）

ボックスシールド付蒸着源。タングステン・モリブデン、又はタンタル製のボート・フィラメント・ロッドなどに対応、コーティングも可能。蒸着材を簡単に交換でき、又、ボックス開口部により指向性を制御し、効率良く材料を基板に堆積させることができます。
 
TEカタログ 英文【 PDF 389KB 】

LTE1 有機物蒸着源

高精度での低温（600℃以下）が求められる有機材料薄膜用途に開発されました。安定した温度制御、応答性にも優れた有機物用蒸発源です。水晶膜厚モニタとの組合せで、PID自動ループ制御で、膜厚±0.1Åの高精度膜厚制御が可能。
 
LTE仕様書 英文【 PDF 615KB 】

MAG series マグネトロンカソード

Moorfield社製スパッタリングカソード。高真空対応、メンテナンス性にも優れたマグネトロン式カソードです。RF, DC, パルスDCに対応、クランプリング作用のためボンディング不要・ターゲットの交換も容易。磁性材用高強度マグネット、チムニーポート、ガスインジェクション、シャッターなどのオプションが豊富です。
 
MAGシリーズカタログ【 PDF 1.9MB 】

電子ビーム銃

超高真空対応 回転型電子銃を採用。

• 7cc x 6pocket, 又は4cc x 8pocketのるつぼ
• 自動/手動式回転インデクサーモジュール
• EB電源：3KW, 5KW, 10KW
• ビーム偏向：270°
• X-Yスイープ