MiniLab thin film deposition system

MiniLab series flexible deposition system

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Deposition Modules

 

成膜ソースモジュール

抵抗加熱式 金属材料蒸着源

TE1(1電極式)
TE2(2電極式)
TE3(3電極式)

TE4(4電極式)

水冷電極式抵抗加熱蒸着源。蒸着ソース・シャッター・水晶膜厚モニター等を設置したベースフランジごと着脱・メンテナンスができるMoorfield社考案の"System-on-flange"に対応。

  • TE1:1電極式 最大電流400A
  • TE2:2電極式 最大電流100A 直列配置・放射位置配置
  • TE3:3電極式 最大電流100A 直列配置・放射位置配置
  • TE4:4電極式 最大電流200A 直列配置・放射位置配置

TE1-Box(ボックスシールド式)

ボックスシールド付蒸着源。タングステン・モリブデン、又はタンタル製のボート・フィラメント・ロッドなどに対応、コーティングも可能。蒸着材を簡単に交換でき、又、ボックス開口部により指向性を制御し、効率良く材料を基板に堆積させることができます。
 
LinkIconTEカタログ 英文【 PDF 389KB 】

抵抗加熱式 有機材料蒸着源

LTE1 有機物蒸着源

高精度での低温(600℃以下)が求められる有機材料薄膜用途に開発されました。安定した温度制御、応答性にも優れた有機物用蒸発源です。水晶膜厚モニタとの組合せで、PID自動ループ制御で、膜厚±0.1Åの高精度膜厚制御が可能。
 
LinkIconLTE仕様書 英文【 PDF 615KB 】

マグネトロン式スパッタリングカソード

MAG series マグネトロンカソード

Moorfield社製スパッタリングカソード。高真空対応、メンテナンス性にも優れたマグネトロン式カソードです。RF, DC, パルスDCに対応、クランプリング作用のためボンディング不要・ターゲットの交換も容易。磁性材用高強度マグネット、チムニーポート、ガスインジェクション、シャッターなどのオプションが豊富です。
 
LinkIconMAGシリーズカタログ【 PDF 1.9MB 】

電子ビーム蒸着源

電子ビーム銃

超高真空対応 回転型電子銃を採用。

  • 7cc x 6pocket, 又は4cc x 8pocketのるつぼ
  • 自動/手動式回転インデクサーモジュール
  • EB電源:3KW, 5KW, 10KW
  • ビーム偏向:270°
  • X-Yスイープ

基板加熱ステージ

Φ4〜Φ8inch基板加熱ステージ

 

Φ4inch〜Φ8inchまでの高温基板加熱ステージ
使用雰囲気により3種類のヒーター素線オプションを用意

  • ハロゲンランプ:Max500℃(真空中・不活性ガス中)
  • C/Cコンポジット:Max1000℃(真空中・不活性ガス中)
  • C/Cコンポジット+SiCコート:Max1000℃(真空中・不活性ガス・O2)

 
LinkIconQuartz Lamp Heaters【 PDF 792KB 】
参考)ホットステージ