VHヒーター Max1600℃
超高温, 超高真空対応 3種類のヒーター材質オプションで幅広いアプリケーションに対応するハイスペック'Versatile'基板加熱ステージ。
- SiC3（炭化珪素）コーティング（Max1000℃）
- TiC3（チタン・カーバイド）コーティング（Max1600℃）
- PG/PBN（Max1200℃）
VH（Versatile Heater）は、ケース・シールド・電極部品・ヒーター素線などを標準化することにより、従来より製作〜納品までの期間を短縮することが可能となりました。SiC3コーティング、TiCコーティング、PG/PBNヒーターを採用し幅広いアプリケーションに対応できるヒーターラインナップです。
※ 使用条件によっては水冷機構付タイプを推奨する場合もございます。
用途
- 真空薄膜形成（CVD, スパッタ, ALD, PLD, MBE他）
- 薄膜応力・熱解析
- ウエハーアニール用加熱ステージ
- その他
発熱体・最高温度（プレート温度）・使用環境
| 発熱体材質 | 最高温度 | 使用雰囲気 |
|---|---|---|
| SiC3コーティング グラファイト | 1000℃ | 真空中、不活性ガス、反応性ガス、還元性ガス、O2、大気 |
| TiC3コーティング グラファイト | 1600℃ | 真空中、不活性ガス、還元性ガス |
| PG/PBN | 1200℃ | 真空中、超高真空、不活性ガス、反応性ガス |
型番構成
Model No.
◉ SiC3コート グラファイト素線 Max1000℃
| 最高温度 | 有効加熱範囲 | ケース材質 | ヒートシールド | ヒーター素線 | トッププレート | 熱電対 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| VH-2-1000-GS-O2 | 1000℃ | Φ2inch | インコネル |
アルミナ/インコネル | SiC3コーティング グラファイト |
ABN1000 | K |
| VH-3-1000-GS-O2 | Φ3inch | ||||||
| VH-4-1000-GS-O2 | Φ4inch | ||||||
| VH-5-1000-GS-O2 | Φ5inch | ||||||
| VH-6-1000-GS-O2 | Φ6inch |
◉ TiC3コート グラファイト素線 Max1600℃
| 最高温度 | 有効加熱範囲 | ケース材質 | ヒートシールド | ヒーター素線 | トッププレート | 熱電対 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| VH-2-1600-GT-UHV | 1600℃ | Φ2inch | タングステン |
タングステン | TiC3コーティング グラファイト |
ABN1000 | C |
| VH-3-1600-GT-UHV | Φ3inch | ||||||
| VH-4-1600-GT-UHV | Φ4inch | ||||||
| VH-5-1600-GT-UHV | Φ5inch | ||||||
| VH-6-1600-GT-UHV | Φ6inch |
◉ PG/PBN素線 Max1200℃
| 最高温度 | 有効加熱範囲 | ケース材質 | ヒートシールド | ヒーター素線 | トッププレート | 熱電対 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| VH-2-1200-PGPBN-UHV | 1200℃ | Φ2inch | モリブデン |
モリブデン | PG/PBN | ABN1000 | K |
| VH-3-1200-PGPBN-UHV | Φ3inch | ||||||
| VH-4-1200-PGPBN-UHV | Φ4inch |
オプション
サンプルクリップ
基板ホルダー
着脱式プレート
その他オプション
・水冷ジャケット（1200℃以上）
・真空導入ベースフランジ
・AlN, PBN, サファイアプレート
・回転機構
・上下昇降
・基板バイアス
参考データ
【1inch Max1600℃ セラミック・トップ・ヒーター】 昇温テスト（*Page top写真右）
【6inch Max1200℃ VHヒーター（CCC element）】 面内温度分布測定
