MiniLab thin film deposition system

MiniLab series flexible deposition system

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装置構成例・アプリケーション事例

グローブボックス 成膜装置

蒸着/スパッタ・デュアルチャンバーシステム
Φ8inch基板対応

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グローブボックス 成膜装置

MiniLab-S060A
4元マルチスパッタ装置
Φ4inch基板対応

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グローブボックス 成膜装置

MiniLab-S125A
多元マルチスパッタ装置
Φ8inch基板対応

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MiniLab-026-GB
MiniLab-090-GB
グローブボックス組込式薄膜実験装置

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グローブボックス 成膜装置

SMX 蒸着マスク/基板オートチェンジャー
Φ4inch基板対応

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グローブボックス 成膜装置

プラズマエッチング
・RIEプラズマエッチング
・ソフトエッチング

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グローブボックス 成膜装置

nanoETCH(ナノエッチ)
Model. ETCH5A
ソフトエッチング装置

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グローブボックス 成膜装置

nanoPVD-ST15A
スパッタ・蒸着源複合型
薄膜実験装置

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グローブボックス 成膜装置

nanoCVD-WGP
ウエハースケール グラフェン合成装置 Φ4"/Φ6"

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グローブボックス 成膜装置

2000℃ 超高温実験炉
・Mini-BENCH
・Mini-BENCH-prism

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