装置構成例・アプリケーション事例
SMX 蒸着マスク/基板オートチェンジャー
Φ4inch基板対応
プラズマエッチング
・RIEプラズマエッチング
・ソフトエッチング
nanoETCH（ナノエッチ）
Model. ETCH5A
ソフトエッチング装置
nanoPVD-ST15A
スパッタ・蒸着源複合型
薄膜実験装置
nanoCVD-WGP
ウエハースケール グラフェン合成装置 Φ4"/Φ6"
2000℃ 超高温実験炉
・Mini-BENCH
・Mini-BENCH-prism
蒸着/スパッタ・デュアルチャンバーシステム
Φ8inch基板対応
MiniLab-S060A
4元マルチスパッタ装置
Φ4inch基板対応
MiniLab-S125A
多元マルチスパッタ装置
Φ8inch基板対応
MiniLab-026-GB
MiniLab-090-GB
グローブボックス組込式薄膜実験装置