HTヒーター Max1900℃
SiC3, TiC3ヒーター採用、超高温用カスタムメイドヒーター。
高純度・耐熱性・高耐蝕性を要求される過酷なプロセス環境にも対応するハイスペック基板加熱ステージ。
- C/Cコンポジット（Max1700℃）
- SiC3（炭化珪素）コーティング（Max1300℃）
- TiC3（チタン・カーバイド）コーティング（Max1900℃）
HTシリーズラインナップでは、SiC3（炭化珪素）、TiC3（チタン・カーバイド）コーティング素線を採用し高純度・耐蝕性・耐熱性を要求される過酷なプロセス環境にも対応いたします。仕様条件をお聞かせください、お客様のご要求に応じ都度カスタムメイド致します。
※ 超高温用ですので水冷付仕様を推奨いたします。
用途
- 真空薄膜形成（CVD, スパッタ, ALD, PLD, MBE他）
- 薄膜応力・熱解析
- ウエハーアニール用加熱ステージ
- その他
発熱体・最高温度（プレート温度）・使用環境
| 発熱体材質 | 最高温度 | 使用雰囲気 |
|---|---|---|
| C/Cコンポジット | 1700℃ | 真空中、不活性ガス |
| SiC3コーティング グラファイト | 1300℃ | 真空中、不活性ガス、反応性ガス、還元性ガス、O2、大気 |
| TiC3コーティング グラファイト | 1900℃ | 真空中、不活性ガス、還元性ガス |
型番構成
概略仕様
◉ Φ1inch 〜 Φ2inch
| 有効加熱範囲 | 外径 | 厚さ | 接続 | 電圧 | 電流 | 最大電力 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| HTWM6-○○-01 | Φ1inch | Φ36.6mm | 52mm | M6スタッド | 17V | 33A | 561W |
| HTWM6-○○-01.5 | Φ1.5inch | Φ38.1mm | 52mm | M6スタッド | 40V | 30A | 1200W |
| HTWM6-○○-02 | Φ2inch | Φ50.8mm | 52mm | M6スタッド | 60V | 35A | 2100W |
◉Φ3inch 〜 Φ8inch
| 有効加熱範囲 | 外径 | 厚さ | 電圧 | 電流 | 最大電力 | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| HT○W○○-○○-03 | Φ3inch | Φ149mm | 42mm | 60V | 25A | 1500W |
| HT○W○○-○○-04 | Φ4inch | Φ175mm | 42mm | 60V | 40A | 2400W |
| HT○W○○-○○-05 | Φ5inch | Φ200mm | 42mm | 60V | 60A | 3600W |
| HT○W○○-○○-06 | Φ6inch | Φ225mm | 42mm | 60V | 80A | 4800W |
| HT○W○○-○○-07 | Φ7inch | Φ251mm | 42mm | 60V | 110A | 6600W |
| HT○W○○-○○-08 | Φ8inch | Φ277mm | 42mm | 60V | 140A | 8400W |
外形図・参考写真
HTWM6-CCC-02
HTSW-CCC
HTWF-CC-01-1700C
HTWS-CC-04-1200C
