超高温真空用 BHヒーター｜Thermocera Japan Ltd.

高真空対応 3種類のヒーター材質オプション。
PVD（スパッタ、蒸着、EB等）、高温真空アニール、高温解析用基板ステージ、などに応用いただけます。

大学・研究機関向け Φ1, 2, 4inch 真空薄膜実験用基板加熱ヒーター。3種類のヒーター素線オプション（Kanthal, C/C Composite, Ta）を用意。各種薄膜実験用基板加熱ステージとして応用いただけます。

*使用条件によっては水冷機構付タイプを推奨致します。

BHS-KA-P-R0（Φ1〜4inch, Kanthai素線, Max800℃）

左より, Φ4inch, Φ2inch, Φ1inch ヒーター

*冷却要

Part No	発熱体	プレート	ケース・シールド	最高温度	熱電対
BHS-1KA-P-R0	カンタル	AlN	SUS304, 又はMo	800℃	K
BHS-1CC-P-R0	C/Cコンポジット	AlN	SUS304, 又はMo	1600℃	C
BHS-1Ta-P-R0	タンタル	AlN	SUS304, 又はMo	1400℃	C

Part No	発熱体	プレート	ケース・シールド	最高温度	熱電対
BHS-2KA-P-R0	カンタル	AlN	SUS304, 又はMo	800℃	K
BHS-2CC-P-R0	C/Cコンポジット	AlN	SUS304, 又はMo	1600℃	C
BHS-2Ta-P-R0	タンタル	AlN	SUS304, 又はMo	1400℃	C

Part No	発熱体	プレート	ケース・シールド	最高温度	熱電対
BHS-4KA-P-R0	カンタル	AlN	SUS304, 又はMo	800℃	K
BHS-4CC-P-R0	C/Cコンポジット	AlN	SUS304, 又はMo	1600℃	C
BHS-4Ta-P-R0	タンタル	AlN	SUS304, 又はMo	1400℃	C

Part No. コード「E」
例） BHS-2KA-E-R0

・取付ブラケット
・基板ホルダー
・標準外ヒーター素線（W, Mo, Nb, Pt/Re, WRe）
その他ご要望に応じて特注仕様対応致します。ご相談下さい。

BH Heater