MiniLab thin film deposition system

MiniLab series flexible deposition system

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SMX 蒸着マスク/基板オートチェンジャー

基板ホルダーと複数の蒸着マスクホルダーを「SMX スタッカー」に格納(マスクホルダーを最大4枚まで格納)
蒸着マスクを、大気開放することなくプロセスチャンバー内で基板成膜面に配置。
登録されたプログラムで、基板ホルダーとマスクホルダーを組み替えて自動で成膜スロットへ移送します。

  1. 最大基板ホルダー / マスクホルダーサイズ:Φ4inch

  2. 最大収納可能枚数:マスクホルダー:最大 4 枚、基板:最大3
    * マスクと基板の合計5枚まで)

  3. 回転した状態での蒸着(回転速度30 段階切替え)、又は任意の位置での蒸着(手動モードの場合)が可能

 
*SMXオプション対応機種:MiniLab-080、MiniLab-090、MiniLab-125

Stack Module ロードロック基板格納モジュール

ロードロックチャンバー内に、複数の基板を格納できる「スタック・モジュール」
基板交換の度にロードロックチャンバーを大気解放する必要がありません。
ロードロックチャンバーを解放せずに、5枚までの基板を交換することができます。

  1. 最大基板サイズ:Φ8inch

  2. 最大収納可能枚数: 基板合計5枚

 
*Stack moduleオプション対応機種:MiniLab-060、-070、-080、-090、-125

Multi-stage Load lock system

基板加熱ヒーター

MiniLab-060 with
Multi-stage load lock system

基板加熱ヒーター 基板加熱ヒーター

MiniLab-080 with
Multi-stage load lock system