MiniLab thin film deposition system

基板ホルダーと複数の蒸着マスクホルダーを「SMX スタッカー」に格納（マスクホルダーを最大4枚まで格納）
蒸着マスクを、大気開放することなくプロセスチャンバー内で基板成膜面に配置。
登録されたプログラムで、基板ホルダーとマスクホルダーを組み替えて自動で成膜スロットへ移送します。

1. 最大基板ホルダー / マスクホルダーサイズ:Φ4inch
   

2. 最大収納可能枚数:マスクホルダー:最大 4 枚、基板:最大3枚
   （* マスクと基板の合計5枚まで）

3. 回転した状態での蒸着（回転速度30 段階切替え）、又は任意の位置での蒸着（手動モードの場合）が可能

 
*SMXオプション対応機種：MiniLab-080、MiniLab-090、MiniLab-125

ロードロックチャンバー内に、複数の基板を格納できる「スタック・モジュール」
基板交換の度にロードロックチャンバーを大気解放する必要がありません。
ロードロックチャンバーを解放せずに、5枚までの基板を交換することができます。

1. 最大基板サイズ:Φ8inch
   

2. 最大収納可能枚数: 基板合計5枚

 
*Stack moduleオプション対応機種：MiniLab-060、-070、-080、-090、-125