真空コンポーネント

マグネトロンカソード MAGシリーズ

RF, DC, パルスDC 兼用 既設装置への追加増設、改造などにも最適な高性能マグネトロンカソード。

LTE 有機蒸着源

低温（80〜600℃）での制御性・応答性に優れた蒸着ソース。安定した蒸着レート、材料の充填・るつぼの交換が容易です。

ご要望に沿った形状での真空導入端子フランジを製作致します。規格外の特殊サイズフランジにも対応致しますのでご相談下さい。

スパッタリングターゲット

様々な用途に応じたスパッタリングターゲットを販売しております。お気軽にご相談下さい。
*Sputter Targets (Moorfield Nanotechnology)サイトへリンクします。