薄膜実験装置
Thin Film Deposition System
モジュール構成によりお客様の様々な要望通りにカスタム構成が可能な【MiniLabシリーズフレキシブル薄膜実験装置】。多元スパッタ・蒸着、多元同時成膜、マルチチャンバーシステムなどのハイスペックのご要望にも対応致します。19"ラック（シングル、ツイン、トリプル）のコンパクトフレームに全てのコンポーネントを収納し、操作は7"タッチパネル（又はWindows PC）1箇所で全ての操作〜データ管理まで一元管理ができます。グローブボックスとのシームレスな連結による【MiniLab-GB】、蒸着マスク/基板オートチェンジャー、2D/PMMA等のレジストも除去する"ソフトエッチング"、ウエハースケールグラフェン合成装置【nanoCVD-WGP】など独創的な技術で研究開発に貢献致します。
- 真空蒸着（金属・有機材料）
- マグネトロンスパッタリング
- 電子ビーム蒸着
- RF/DCプラズマエッチング
- アニール
- プラズマCVD
