スパッタ・蒸着ソース複合型成膜装置
nanoPVD-ST15A
スパッタカソード・蒸着ソース混在型薄膜実験装置 コンパクトフレームに金属蒸着・有機蒸着・スパッタカソードを設置
カタログダウンロード【PDF 2.5MB】
薄膜実験装置
コンパクトタイプ薄膜実験装置
薄膜実験装置【nano Benchtop】シリーズ。MiniLabシリーズと同じコンポーネント・制御系を用いた最高スペック仕様ですが、拡張性を省き、コンパクトフレームに必要機能全てを凝縮した「省スペース」「ハイパフォーマンス」装置です。
コンパクトながら性能・品質には一切の妥協が無く、さらに研究室のスペースを有効活用できるプラグ&プレイタイプの薄膜実験装置。Windows PC用リモート監視ソフトウエア「IntelliLink（インテリリンク）」によりシステムモニター、オフラインレシピ作成、ログ保存、CSVデータ出力、故障解析が外部PCで可能になりました。
- 真空蒸着（金属・有機材料）
- マグネトロンスパッタリング
- RF/DCプラズマエッチング
- アニール
- グラフェンCVD
