nanoETCH
ソフトエッチング装置 応用事例
グラフェン, レジストパターンのエッチング
Si/SiO2基板上のホール素子 グラフェン配線の形成
ソフトエッチングによるグラフェン・レジストの除去
① Si/SiO2基板上にnanoCVDで作成したグラフェンを転写, ホール素子レジストパターンを形成
② レジストパターンを残し、グラフェン層をソフトエッチング
③ ホール素子上のレジストをソフトエッチング除去
④ フォトリソグラフィにてコンタクトパッド形成
PPAエッチング除去
RF Ar/O2プラズマによるPPAのソフトエッチング
h-BNエッチング
SF6ガスによる反応性プラズマエッチング
*『フッ化ガス供給モジュール』使用
