導入事例

nanoPVD-S10Aマグネトロンスパッタリング装置
キラル分子スピントロニクス薄膜デバイス開発に貢献

 
京都大学大学院 工学研究科 分子工学専攻

BHヒーターの高温基板加熱を利用したPVD法による
hBN（Hexagonal Boron Nitride）ナノシートの合成に成功

 
東京工業大学 科学技術創成研究院 未来産業技術研究所

長寿命・信頼性の高い基板加熱ヒーター「SHシリーズ」
PLD（Pulsed Laser Deposition）装置に採用

 
東京工業大学 科学技術創成研究院 フロンティア材料研究所