導入事例

1.多機能性酸化チタン薄膜を介して接合したペロブスカイト/結晶シリコンタンデム太陽電池の開発

（Small誌 論文掲載）
 

2.真空-塗布ハイブリッドプロセスによるペロブスカイト太陽電池製造に向けたPbI2前駆体高速製膜の検討

（Solar RRL誌 論文掲載）
 
産業技術総合研究所様
 

1. “Monolithic Perovskite/Silicon Tandem Solar Cells Enabled by Multifunctional TiOx Interconnects”
   Small誌, 27 April, 2025, 
   https://doi.org/10.1002/smll.202500969
   
   
2. “Rapid Deposition of PbI2 Precursors in Vacuum/Solution Hybrid Process for Efficient and Industrially Feasible Perovskite Solar Cells”,
   Solar RRL誌, 16 September, 2025
   https://doi.org/10.1002/solr.202500557

nanoPVD-S10Aマグネトロンスパッタリング装置
キラル分子スピントロにクス薄膜デバイス開発に貢献

 
京都大学大学院 工学研究科様

BHヒーターの高温基板加熱を利用したPVD法による
hBN（Hexagonal Boron Nitride）ナノシートの合成に成功

 
東京工業大学 科学技術創成研究院 未来産業技術研究所様

長寿命・信頼性の高い基板加熱ヒーター「SHシリーズ」
PLD（Pulsed Laser Deposition）装置に採用

 
東京工業大学 科学技術創成研究院 フロンティア材料研究所様