真空薄膜用ヒーター BH基板加熱ヒーター SH基板加熱ヒーター HSホットステージ CH円筒状ヒーター HTEヒーター QLDランプ加熱ヒーター 超高温実験炉 Mini-BENCH 超高温小型卓上実験炉 Mini-BENCH-prismセミオート式超高温実験炉 MiniLab-WCF ウエハー焼成炉 ANNEAL ウエハーアニール装置 TCF-C500 超高温小型実験炉 TVF-110 小型縦型 管状炉 薄膜実験装置 MiniLab seriesフレキシブル薄膜実験装置 ML-GB グローブボックス薄膜実験装置 nanoCVD-WGPウエハースケールグラフェン合成装置 Nanofurnace 熱CVD装置 コンパクトタイプ薄膜実験装置 nanoCVDグラフェン合成装置 nanoPVD-S10Aマグネトロンスパッタリング装置 nanoPVD-T15A有機膜・金属膜蒸着装置 nanoETCHソフトエッチング装置 nanoPVD-ST15A スパッタ・蒸着複合成膜装置 真空部品・コンポーネンツ スパッタカソード MAGシリーズ LTE 有機蒸着源 OLED 有機・金属蒸着セル 真空導入端子 スパッタリングターゲット 赤外線放射温度センサー PyroCouple 赤外線温度センサー PyroMini 赤外線温度センサー PyroUSB USB赤外線温度センサー PyroMini USB 赤外線温度センサ ExTemp 本質安全防爆型赤外線センサー PyroNFC赤外線温度センサー カスタムメイド装置 製作事例 Custom Made deposition equipments ご要望により製作した特注装置をご紹介 制作実例を見る